在容积泵型旋转翼真空泵中拥有代表性。

旋转翼真空泵又可分为以下三种类型。

1.干燥泵：典型的干燥(无光滑)真空泵使用碳翼在铝或不锈钢泵壳中旋转
，守护量极度幼５怯胗头夂退獗孟啾
，其起初的一次性投资较大。在正常使用时
，由于旋转翼的磨损
，会使渺小碳粉传染气相样品。

2.油光滑泵:油光滑泵的价值是这里会商的三种真空泵中央一次性投资价值的泵。但到目前为止
，它的守护量最大。油光滑真空泵的使用有几个限度:产生真空的油脂会传染样气
，真空油脂日常更换犯法规
，废水有排放的危险
，这取决于与之接触的样品。泵工作时
，出口会产生油雾。由于它的体积太大
，排向大气时最好过滤油雾。从这个角度来看
，油光滑真空泵的守护成本巨大
，可能会产生有害物质
，这是另一个必要处置的问题。

3.水光滑泵：水光滑(液体进行密封)真空泵起初的一次性通过投资风险最幼
，所提供的真空度最幼
，日常治理守护成本用度也最低５撬饣婵毡貌荒苤苯佑糜诙运羝舾械难。同时
，由于水被样品重要传染且可能产生有害
，所以要思考环境有害生涯污水的处置技术问题。