旋转芯片机械泵重要由泵体和电机两部门组成。

　旋转旋转时的几个典型工作地位。在旋转过程中，涡流将空腔和旋转器之间的弯曲的月形体积分为两部门（有时是三个部门）：一部门是衔接出口阀的排气腔，另一个是衔接内管的吸气腔。在上一个工作周期中逐步压缩吸入气体的同时吸气。吸气堵截（此时吸气腔最大）将起头压缩。吸气腔再次吸入，排气腔持续压缩。排气腔中的气体被压缩到多个大气的压力，因而它能够打开排水防酸自吸泵门并逃逸到大气中，吸气腔起头下一次吸入。所以来回。

　工作时，循环随涡流陆续旋转，气体不休排出以实现泵送作为。玫瑰花带速度通常为 450 至 1400r/min。若是旋转速度较快，泵送速度越大，但在高速下泵内温度较高，保障密封难度较大。为了确保排气和吸气腔之间没有泄漏，使用蒸汽压力低和肯定粘度的机械泵油作为密封填充间隙。泵油的其他三个职能是光滑、冷却和援手在低排气水平下打开出口阀；当糜屯ü厥獾挠吐方肴颂灞们。因而，此泵也称为油封旋转折械泵。

　上述单级泵通常可获得极限压力P约为1Pa，这重要受罗顿密封和腔接触区泄漏的限度，漏气量直接幼于密封现场两侧的压力差。单级泵的这种压力差是大气压力。为了削减这种压力差，提高极限真空，旋转芯片机械泵通常选取两级泵结构。两个泵以一样的速度和方向以一样的速度和方向轮流旋转，当前泵处于吸力地位时，后泵就在排气中，从而削减后泵圈和腔接触区密封之间的压力差。

　两级泵能够达到的极限压力约为 10-2Pa 级，这重要取决于泵油的鼓和蒸汽压力以及油在使用过程中受到的传染和裂变。两级泵结构重要用于提高泵的P值，这有助于提高泵的最大泵送速度，但能够改善泄漏后在低压下泵速。